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中低温变温电阻测试

简要描述：该变温电阻设备有以下特点:$r$n1、变温范围广，-196到高温全覆盖，且变温过程中升降温速率可控;$r$n2、测试精度高范围广，电阻测量范围0.01uΩ到1200MΩ，广泛应用于各种金属半导体材料，和相变材料研究;$r$n3、测试数据量大且完整，变温过程中持续采集，电阻率数据每秒采集两次。$r$n4、设备体积小，操作简单，维护方便。$r$n5、测量结果稳定，数据平滑，重复性高。

产品型号：RMS-600

厂商性质：

更新时间：2022-4-18

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详细介绍

变温腔采用加热棒加热，和通入液氮制冷的方式降温。通过控制加热棒电压和液氮泵的转速，可以控制变温腔内样品台升降温的速率。

本设备对变温过程中的样品进行电阻率的联系采集，从而绘制处样品在变温过程中的电阻率联系变化曲线。

序号	项目	技术指标
	测试参数
1	测试物理量	变温过程中电阻率连续采集
2	样品要求	L≥10mm；W≥3mm；T≥50nm （适用与块状、片状和带基底的薄膜样品）
3	电阻率测试误差	≤10%
4	重复测试误差	≤3%
5	电阻测量范围	Ω－－Ω
	控温参数
6	温度范围	80K-800K
7	温度显示精度	0.1℃
8	控温精度	0.5℃
9	加热方式	加热棒加热
10	制冷方式	液氮制冷
11	升温速率	（1-30）K/min程序控制
12	降温速率	（1-20）K/min程序控制
13	最大加热功率	100W
	整机参数
14	采集控制箱尺寸	366mm（W）360mm（D）160mm（H）
15	测试装置尺寸	140m120mm180mm
16	额定电压	220V/50HZ
17	整机功率	250w
	其它参数
18	外壳冷却方式	自然冷却或风冷
19	外壳最高温度	40℃
20	测试气氛	真空
21	真空度	≤1Pa
22	真空容积	2L

表 1-1 RMS-600技术参数

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